等离子净化器低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质*四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在较短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
等离子净化器的工作区组成介绍：
1、微波激发区
本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，的提高等离子体区，较板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。
2、低温等离子体激发
本工艺有40支至240支充有气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术，从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有能量平衡性，在粒子撞击中失能较少，所以低温等离子体作为原子激发是较好的一种能。在实践应用中，关键在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。
3、较板区
根据被处理的气体的流量，较板间的电压分12KV、16KV至42KV，较板间加以足够高的电压，在引风的作用下，较区由于负压的作用，按照法拉*暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。本工艺集三种技术与一体，经山东、江苏、浙江三地多家医药、化工企业的实地测试，原废气的去除率非常理想。
电催化氧化工艺集低温等离子体、微波放电、较板放电与一体，在实际使用中实现废气的处理是较为复杂的过程，整个过程在不到1秒的时间内完成。从理论到模型都能探究到相关的机理，通过三种方式的集中放电，废气分子从低能的E，在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充分断裂，在雪崩式的撞击中断裂后的粒子由于质量小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无味的二氧化碳、水以及其它高价化合物。同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，去除不同范畴的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。
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